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Organización.
Unidades de Apoyo

ICMM-CSIC

Caracterizacin y Crecimiento de Capas Delgadas

 

Responsable científico

Dra. O. Sánchez, Dr. Ignacio Jiménez, Dr. Raúl Gago


Responsable técnico

Javier Ortiz


Equipos

El Laboratorio de Caracterización y Crecimiento de Capas Delgadas dispone de los siguientes equipos y servicios:

  • Perfilómetro de contacto,  marca Veeco, mod. Dektak 150.
  • Espectrómetro Raman, EZ-Raman-N de Enwave Optronics, sobre microscopio LEICA DM300 con láser Nd:YAG de 532 nm.
  • Emisómetro portátil  marca Devices & Service Company (modelo AE1).
  • Analizador GDOES, mod. RF-GD-Profiler, marca Horiba Jobin Yvon, equipado con ánodo de 4mm. Detección simultánea de los siguientes elementos: H, B, C, N, O, S, P, Si, As, Al, Ga, Ti, Fe, Cr, Co, Ni, Zn, Cu, Zr, Nb, Ag, Au, Mo, W, Mg, Ca, V.
  • Espectrofotómetro UV-Visible-IR cercano, marca Shimadzu modelo Solidspec-3700 con esfera integradora, medidas de transmisión y reflexión (especular, difusa) en el  rango 190 nm-3300nm.
  • Espectroscopía FTIR (reflectancia quasi-especular), Varian 660 MID-NEAR IR, con accesorio de ángulo de incidencia variable.
  • Nanoindentador, mod. NanoTest P1, marca MicroMaterials, con péndulo de 500mN y punta piramidal Berkovich (100nm).
  • Sistemas de deposición de capas delgadas: (i) Sputtering con hasta tres magnetrones para deposición de metales, óxidos y nitruros;  (ii) Evaporación térmica mediante dos cañones de electrones y asistencia con haces de iones (nitrógeno o gas noble).
  • Tratamientos térmicos en atmósfera controlada a baja presión. Reactor tubular de cuarzo. Temperaturas hasta 900°C en atmósfera de Ar2, N y/o O2.

Teléfono
913349000 ext. 315


Correo electrónico
capas.delgadas@icmm.csic.es


Tarifas

Tarifa actual (2020)


 

 

Solicitud de ensayos LIMS

 

 

     

ICMM-2020 - Sor Juana Inés de la Cruz, 3, Cantoblanco, 28049 Madrid, España. Tel: +34 91 334 9000. info @ icmm.csic.es