Sistema de Ultra Alto Vacío (UHV) para análisis químico de superficies mediante Espectroscopía de Fotoelectrones de Rayos X (XPS) con resolución lateral (35 μm) equipado con los siguientes elementos:

• fuentes de rayos X monocromática de Al-Ka y dual Mg/Al-Ka
• analizador de electrones hemiesférico (SPECS Phoibos150) con detector bidimensional DLD (multicanal -9 segmentos- y 2D)
• cañón de iones focalizado para limpieza de superficies y perfiles de composición en profundidad
• cañón de electrones para compensación de carga en superficies no conductoras
• calentamiento in-situ
• manipulador de alta precisión de 5 ejes motorizado con rotación Zalar
• sistema de visualización y alineamiento de muestra
• cámara de entrada rápida de muestras con sistema de transferencia y
• sistema de almacenamiento.

Contacto: Francisco Javier Palomares, fjpalomares@icmm.csic.es